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更新于 2026-10-06

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* 兰田村 (信丰县),属江西省赣州市信丰县

* 兰田村 (奉化区),属浙江省宁波市奉化区

* 兰田村 (安吉县),属浙江省湖州市安吉县

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这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。

多晶硅的沉积可以和掺杂同时进行。即把磷,砷或者乙硼烷加入CVD反应腔。乙硼烷的会令增长率增加,但砷化氢和磷化氢会令沉积速度减小。

使用以下反应:SiH4 + 4 N2O → SiO2 + 2 H2O + 4 N2.

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1939年,三浦绫子毕业于旭川市立高等女学校(今旭川市立北都中学校),其后的七年任教于小学。1952年,三浦绫子在与结核病奋斗的过程中接受洗礼,于1959年与三浦光世结婚。

1961年,三浦绫子在《主妇之友》杂志的募集中,以「林田律子」为笔名,投稿了《太阳不再西沉》(日文:太阳は再び没せず)这篇小说并获得入选;翌年,这篇小说在《主妇之友》的新年号上刊出。

1963年,朝日新闻社举行了「庆祝大阪本社创刊85年・东京本社75周年纪念的一千万元悬赏小说募集」,绫子投稿了小说《冰点》,并获得入选,于1964年12月开始在朝日新闻朝刊上连载。《冰点》在1966年由朝日新闻社出版,创造了卖出71万本的纪录。由于广受好评,在1966年改拍为电影(导演:山本萨夫,出演:若尾文子),接著也数度被改编为广播剧、连续剧。

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