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更新于 2026-11-01

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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

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妈宫风神庙,台湾澎湖县的合澎公庙之一,主祀风神爷,建于大清乾隆55年(1790年),约于明治32年(1899年)间被拆除。

根据金门文人林豪所著的《澎湖厅志》记述:风神庙主祀风神爷,建于澎湖妈宫城隍庙东侧,乾隆55年(1790年)农历11月由时任澎湖通判王庆奎开基,澎湖水师协的副将黄象新、游击官聂世俊、雷鸣扬皆有参与捐金纪录。嘉庆四年(1799年)间,时任澎湖通判韩蜚声拆建庙宇。光绪七年(1881年),水师都司郁文胜倡议重建风神庙,委请监生叶国梁主持,并于光绪八年(1882年)农历四月落成,耗资一千二百八十余贯(铜钱),不足额由郁文胜垫付。

1895年台湾本岛与澎湖易帜。明治31年(1898年),风神庙庙舍被日本官员接收,成为「妈宫辨务署」的替代官舍。明治32年(1899)11月26日,因应「澎湖岛国语传习所」改设为「妈宫公学校」,便将城隍庙东处的风神庙和东北处的程朱祠悉数拆除,翌年改建成学校的教室。

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