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在直流溅射中，在靶和待涂覆的基板之间施加几百伏的直流电压，因此它也被称为直流电压溅射。
靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。
该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。
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翁磐（1550年），字进吉，号白洞，四川泸州人，明朝政治人物、举人出身。
弘治十一年（1498年），戊午科乡试中举。正德十二年（1517年）授吏部司务，嘉靖二年（1523年）担任礼部祠祭司署员外郎，参与大礼议，五年（1526年）升礼部主客司郎中。嘉靖八年（1529年），担任广东右参议，分守惠潮。十年因母年八十，乞归养致仕，二十九年七月十六日卒，享年七十四岁。
高祖翁时敬。曾祖翁龄，赠乌程县知县。龄生三子，长子翁经，登景泰甲戌进士，官曲靖知府，为翁磐祖父。父翁士章，赠礼部主客司郎中。母许氏，封太宜人。娶欧阳氏，封宜人，生一子全甫，早卒；继娶牛氏，生子翁辰孙，郡庠生。
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