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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。
三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
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第一代站房在退出客运服务后,很长一段时间内作为广州工务段的库房使用。由于保养不善,站房内部构件风化严重,墙面和屋顶有小面积的损坏情况。因站房位于新建新塘站的12、13股道之间,影响轨道铺设,该站房于2021年4月开始整体拆除,建筑将在修缮后异址重建。铁路部门亦将待重建完成后,为其申报评定历史建筑进行挂牌保护。
1985年,第二代站房在第一代站房西侧建成。车站站房扩建至1,956平方米,站场股道也相应增加。
1991年广深准高速铁路开建,1994年完工,本站至石龙区间列车时速可达200千米。
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他擅长向富商筹集经费,并曾促成三个大型天文台的成立,并安装当时最先进的仪器,包括拥有全世界最大口径折射望远镜的叶凯士天文台(他于1895年至1905年出任该台的台长)及威尔逊山天文台(于1904年至1923年出任该台台长)。在威尔逊山天文台工作期间,他聘用了沙普利和哈勃两位后来有名的天文学家。1928年,海耳又获得洛克菲勒基金会600万美元捐款,兴建帕洛马山天文台,并安装一台口径200英吋的反射望远镜,为当时全球最大的望远镜,此望远镜由加州理工学院管理,海耳对该校的发展上亦担当过重要角色,令它成为顶尖的研究大学。1969年,帕洛马山天文台和威尔逊山天文台合并,命名为海耳天文台。
* 英国皇家天文学会金质奖章,1904年
* Actonian Prize,1921年
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