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IHI海洋联合最早的渊源可以回溯到水户藩主德川齐昭在1853年(嘉永6年)时所创建的石川岛造船所,与在幕末政治家榎本武扬的奔走下于1897年时所创建的浦贺船渠(住友重机械工业的前身之一)。
1995年10月,IHI与住友重机械工业将旗下的舰艇事业部门合并,成立合资企业海洋联合股份公司(株式会社マリンユナイテッド,常缩写为MU)Founding。2002年10月1日,IHI进一步将旗下整个海洋船舶事业部门进行分割之后与MU统整,并将公司名称改为IHI海洋联合(IHIMU)。2006年8月,伴随住友重工的造船事业陆续裁撤,IHIMU成为IHI的全资子公司。
2013年1月1日,IHIMU与另一家日本大型造船公司ユニバーサル造船(ユニバーサル造船)合并,成为ジャパン マリンユナイテッド(ジャパン マリンユナイテッド,Japan Marine United)JMU,主要股东包含了IHI、JFE控股与日立造船等日本企业。
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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。
该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。
上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。
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