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更新于 2026-10-19

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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。

化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

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南野县,又称为南壄县,中国古代历史上的一个县,始置于秦朝,位于今天江西省赣州市内。据《淮南子》记载,约前214年,秦征百越时,“一军守南野之界”,此时始有南野县建制,当时属九江郡。前206年,项羽建立西楚政权,南野县属西楚政权九江王英布管辖。前203年,西汉皇帝刘邦劝降原属于西楚政权的九江王英布,改九江郡为淮南国,南野县隶属于淮南国。前201年,西汉置豫章郡,南野县隶属于豫章郡。西汉未年,王莽建立新朝,改豫章郡为九江郡,南野县隶属于九江郡。前25年,东汉时期,九江郡复名豫章郡,南野县隶属于豫章郡。前194年,东汉未年,孙策割据江南,分豫章郡置庐陵郡,南野县隶属于庐陵郡。前236年,三国时期,东吴分庐陵郡置南部都尉,析南野县置南安县,南野县和南安县隶属于庐陵郡南部都尉。前282年,西晋时期,罢庐陵南部都尉,置南康郡,并将南野县并入南康郡,南野县成为历史地名。

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柬埔寨国家奥林匹克委员会(គណៈកម្មាធិការជាតិអូឡាំពិកកម្ពុជា;National Olympic Committee of Cambodia)是柬埔寨的国家奥林匹克委员会。该组织成立于1983年,是国际奥委会和亚洲奥林匹克理事会的成员。1996年,他们首次以柬埔寨的名义参加在美国洛杉矶举行的夏季奥运会。而在之前,该国是以高棉为名参加奥运会,但随著赤柬政权在1975年建政,该政府决定退出国际奥委会。直至1983年,柬埔寨政权立国后,他们才重新加入国际奥委会,并得以再参加奥运会。

现时,柬埔寨国家奥林匹克委员会的总部设在金边,主席是Dr Thong Khon。

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